產(chǎn)品特點(diǎn)：性?xún)r(jià)比高、響應速度快、可靠性高，易于集成、環(huán)路保護、備總量計數器
　　典型應用：CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。
　　設計特點(diǎn)：
　?。瓌傂越饘俳Y構
　?。鞒谭秶鷱?開(kāi)始到10sccm直到0到1000slpm
　?。?大壓力500psig（34.5Bar）
　?。孤┞?＊10-7氦氣
　?。璑IST系統標定可追蹤的證明
　?。蓛A斜的LCD讀表
　?。?-5Vdc或4-20mA信號輸出
　?。娐繁Ｗo
　?。捎米鞅銛y式的設備
　?。?到100比例顯示
　?。膳鋫淞髁坑嬎銠C
　　精度：±1.5％滿(mǎn)量程，包括59℉到77℉的氣體溫度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的壓力?？蛇x±1％滿(mǎn)量程（標定精度），在給定的溫度與壓力值條件下。
　　重復性：±0.5％滿(mǎn)量程
　　回應時(shí)間：實(shí)際流速±2％超過(guò)滿(mǎn)量程25-100一般2秒
　　溫度系數：0.15％滿(mǎn)量程／℃
　　壓力系數：0.01％滿(mǎn)量程／psi（0.07bar）
　　氣體／周?chē)鷾囟龋?2℉-122℉（5℃-50℃）
　　輸出信號：0-5Vdc，*小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻
　　傳感器輸出：＋12Vdc；*大200Ω。＋24Vdc可選
　　時(shí)間恒量：800ms